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天津凯时AG唯一登录官网橢圓偏振測厚儀

簡要描述:近代科學技術的許多領域中對各種薄膜的研究和應用日益廣泛。因此,更加精確和迅速的測定給定薄膜的光學參數已變得更加迫切和重要。在實際工作中可以利用各種傳統的方法測定光學參數,如:布儒斯特角法測介質膜的折射率,幹涉法測膜厚,其它測膜厚的方法還有稱重法、X射線法、電容法、橢偏法等。

  • 産品型號:TPY-1型
  • 廠商性質:生産廠家
  • 更新日期:2017-09-02
  • 訪  問  量:1025

詳細介紹

産品特點:

  • 儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率,具有精度高、靈敏度高以及方便測量等特點;
  • 光源采用氦氖激光器,功率穩定、波長精度高;
  • 儀器配有生成表、查表以及精確計算等軟件,方便用戶使用。

 

規格與主要技術指標:

  • 測量範圍:薄膜厚度範圍:1nm-300nm;
  • 折射率範圍:1-10
  • 測量zui小示值:≤1nm
  • 入射光波長:632.8nm  
  • 光學中心高:80mm
  • 允許樣品尺寸:φ10-φ140mm,厚度≤16mm    
  • 偏振器方位角范围:0°- 180°读取分辨率为0.05°
  • 測量膜厚和折射率重複性精度分別爲:±1nm和±0.01
  • 入射角连续调节范围:20°- 90°精度为0.05°
  • 主機重量:25kg

 

成套性:主機、電控系統、計算軟件

外形尺寸:680*390*320mm

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